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Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 700
上海伯东德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 700. 涡轮分子泵 HiPace 700 对氮气抽速可达到 685 l/s, 紧凑设计, 低能耗的同时保证分子泵更高抽吸能力.
涡轮分子泵 HiPace 700 占地面积小, 任意位置安装. 适用于工业环境-保护等级 IP 54, 通过半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过分子泵控制器监控运算数据, 集成风冷.
涡轮分子泵 HiPace 700 可选分子泵控制器 TC 400/TCP 350, 多种密封方式和配件供选择, 上海伯东可协助客户选型并提供完善的售后维修服务.
涡轮分子泵 HiPace 700 特性
稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证
涡轮分子泵 HiPace 700 技术参数
进气口 | DN 160 ISO-K | DN 160 CF-F | DN 160 ISO-F | DN 160 ISO-K | DN 160 CF-F | DN 160 ISO-F | |
图片 |
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分子泵控制器 | 型号 | 标配 | 标配 | 标配 | 选配 | 选配 | 选配 |
抽速 | Ar L/S | 665 | 665 | 665 | 665 | 665 | 665 |
H2 L/S | 555 | 555 | 555 | 555 | 555 | 555 | |
He L/S | 655 | 655 | 655 | 655 | 655 | 655 | |
N2 L/S | 685 | 685 | 685 | 685 | 685 | 685 | |
压缩比 | Ar | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 |
H2 | 4X105 | 4X105 | 4X105 | 4X105 | 4X105 | 4X105 | |
He | 3X107 | 3X107 | 3X107 | 3X107 | 3X107 | 3X107 | |
N2 | >1X1011 | >1X1011 | >1X1011 | >1X1011 | >1X1011 | >1X1011 | |
全转速时气体流量 | Ar hPa l/s | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
H2 hPa l/s | >14 | >14 | >14 | >8 | >8 | >8 | |
He hPa l/s | 20 | 20 | 20 | 5 | 5 | 5 | |
N2 hPa l/s | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 3 | 3 | 3 | |
极限压力 | hPa | ＜1X10-7 | ＜5X10-10 | ＜1X10-7 | ＜1x10-7 | ＜5x10-10 | ＜1x10-7 |
最大预抽真空 | N2 hPa | 11 | 11 | 11 | 11 | 11 | 11 |
电压 | VDC | 48 | 48 | 48 | 48 | 48 | 48 |
最大电流 | A | 8.4 | 8.4 | 8.4 | 8.75 | 8.75 | 8.75 |
转速± 2 % | RPM | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 | 49200 |
声噪 | dB(A) | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
允许最大磁场 | mT | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 |
启动时间 | min | 2 | 2 | 2 | 5.5 | 2.5 | 2.5 |
重量 | kg | 11.5 | 17.4 | 12.1 | 10.6 | 16.5 | 10.6 |
* 控制器选择 TCP 350, 可以使分子泵在辐射环境中使用
* P 系列: 耐粉尘
* PLUS 系列: 极微振动,杂散磁场低
* H 系列: 更高的压缩比,尤其适用于轻质气体
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 700 套装:
上海伯东提供完整的分子泵套装供您选择, 包含一台 HiPace 700 分子泵主机和控制电源等, 分子泵套装满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套装内配置如下:
分子泵 | 分子泵电源与控制器连接线 | 风扇 | OmniControl 400 | 接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m |
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| 接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m |
标准款涡轮分子泵 HiPace 700 在售型号
对所有气体的高抽吸能力和更高压缩,适合所有标准应用
进气口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成电源包 | 资料下载 |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 远程, Profibus | - | |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 远程, Profibus | - | |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 远程, Profibus | ||
DN 160 ISO-F | 另配 TCP 350 | - | - | |
DN 160 CF-F | 另配 TCP 350 | - | - | |
DN 160 ISO-K | 另配 TCP 350 | - | - | |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 远程 | - | |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 远程 | 是 | |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 远程 | 是 | |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 远程 | 是 |
耐粉尘涡轮分子泵 HiPace 700P 在售型号
适用于镀膜及半导体工艺以及诸如电子束焊接装置等易受灰尘影响的工业应用
进气口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成电源包 | 资料下载 |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 远程 |
低振动涡轮分子泵 HiPace 700 PLUS 在售型号
极微振动,杂散磁场低,适用于高要求分析设备,例如电子显微镜
进气口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成电源包 | 资料下载 |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 远程 | - | |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 远程 |
更高压缩比涡轮分子泵 HiPace 700 H 在售型号
更高的压缩比,尤其适用于轻质气体,实现超高真空
进气口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成电源包 | 资料下载 |
DN 160 ISO-K | TC 400 | RS-485, 远程 | - | |
DN 160 CF-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | |
DN 160 ISO-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | |
DN 160 ISO-K | 另配 TCP 350 | - | - | |
DN 160 CF-F | 另配 TCP 350 | - | - | |
DN 160 ISO-F | 另配 TCP 350 | - | - |
涡轮分子泵应用 HiPace 700
镀膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光学镀膜, 硬质涂层
工业: 医学技术, 工业检漏, 电子束焊接, 隔离真空, 热处理, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>
若您需要进一步的了解涡轮分子泵详细信息, 请联络上海伯东邓女士，分机134
